Sputtering 몇가지 질문있습니다

2009.11.10 20:51

정세훈 조회 수:16642 추천:139

안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
답변부탁드립니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [329] 101428
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24345
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 60991
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72984
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105063
24 RF sputtering reflect power에 대해서 질문 남깁니다. 332
23 Sputtering을 이용한 film deposition [진공 및 오염입자의 최소화] [1] 492
22 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [Base pressure 이해] [1] 374
21 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제] [1] 537
20 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 1027
19 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극] [1] 1761
18 sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지 [Sputter와 sheath, flux] [1] 2667
17 Ar plasma power/time [Self bias와 sputtering 효과] [1] 1751
16 DC스퍼터링과 RF 스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [플라즈마 생성과 Sputtering] [2] 4155
15 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [플라즈마트 및 휘팅커 회사] [1] 10660
14 Ar traction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [Chamber wall과 radical reaction] [1] 16091
13 [Sputter Forward,Reflect Power] [Sputter와 matching] [1] 31608
12 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20529
11 UBM 스퍼터링 장비로… [UBM과 열팽창 및 coating] [1] 21166
» 몇가지 질문있습니다 16642
9 스퍼터링에서 DC bias의 감소 원인이 궁금합니다.. 25123
8 DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 [플라즈마 부유 전위] 19794
7 sputter 16972
6 Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? [Splash와 TG Maker] 18177
5 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 [Capacitance와 DC ripple] 18065

Boards


XE Login