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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[282]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다.
[1] | 17 |
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CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의
[2] | 451 |
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Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.
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13 |
Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다
[1] | 910 |
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IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다.
[2] | 1572 |
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11 |
CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다
[1] | 2386 |
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플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요?
[1] | 3693 |
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압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 1723 |
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8 |
안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출)
[1]  | 2601 |
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7 |
Vpp, Vdc 측정관련 문의
[1] | 3745 |
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6 |
chamber impedance
[1] | 2030 |
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안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다.
[3] | 5974 |
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4 |
RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다
[2] | 7338 |
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3 |
ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의
[1] | 24789 |
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2 |
Reflrectance power가 너무 큽니다.
[1] | 24914 |
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1 |
플라즈마 챔버 의 임피던스 관련
[2] | 27236 |
