Others AP plasma 공정 관련 문의 [OES 활용 장비 플라즈마 데이터 분석]
2023.12.21 09:20
안녕하세요 플라즈마 업체 쪽에서 근무하고 있는 황보람입니다.
당사 내에서 전극에 N2+Air를 사용중이며, 샘플을 평가할 때 성능이 좋은 편인데
현장에 납품하면 갑자기 성능이 당사에서 봤던 성능이 안 나옵니다..
Gas 순도나 공정환경의 온도 및 습도까지 동일하게 해봤는데도 동일 시 안 나오는데 원인에 대한 부분이 뭐가 있을까요..?
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [316] | 80825 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 21610 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 58411 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 70036 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 95330 |
37 | 플라즈마내에서의 아킹 [Charge와 plasma potential] | 43805 |
36 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [ECR과 enhanced process] [2] | 35084 |
35 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. | 30285 |
34 | Arcing [아크의 종류와 발생 원인] | 24032 |
33 | plasma cleanning에 관하여 [Sputtering과 Etch] | 20904 |
32 | wafer 전하 소거: 경험 있습니다. | 20531 |
31 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 [코로나 방전, 먼지 집진] | 19687 |
30 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19539 |
29 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19521 |
28 | 플라즈마의 환경이용 | 18806 |
27 | Plasma of Bio-Medical Application | 18034 |
26 | 플라즈마 응용분야 | 17918 |
25 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. | 17249 |
24 | 플라즈마 처리 [표면처리와 Plasma Chemistry] | 16977 |
23 | nodule의 형성원인 | 16826 |
22 | 산업용 플라즈마 내에서 particle의 형성 | 15113 |
21 | 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마 | 14769 |
20 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [쉬스 전위 및 플라즈마 세정] [1] | 11933 |
19 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9301 |
18 | 고온 플라즈마 관련 | 8113 |