Others 고진공 만드는방법. [System material과 design]

2017.12.15 22:16

즙즙 조회 수:1181

background pressure 이 10^-7이 되게 하려면

단순히 diffusion pump 와 rotary oil pump만을 이용해서 만들수있나요??

 

그리고 전체적인 구조는 어떻게 될가요. background pressure 가 10^-7이면 

ultrahigh vac을 만드려고 하는거 같은데 ion pump 나 TSP가 추가돼야 할까요?

단순하게 이론적으로 궁금하네요.

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