Others N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점
2022.05.12 00:29
안녕하세요. 반도체회사에서 PECVD 장비를 하고있는 윤태화입니다.
GAS 종류에 따른 Plamsa 진행시 차이점이 있는지 궁금합니다.
1. N2 Gas 로 Plasma 진행 시 장단점
2. N2O Gas 로 Plasma 진행 시 장단점
3. N2 / N2O 두 Gas의 Plasma 차이점
4. N2 및 N2O GAS 사용으로 Plasma 4~5분 노출 시 챔버 내부 변색 가능성? 한두달 뒤 변색이 될 가능성..
위 4개 질문드립니다.
감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77136 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20421 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57333 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68871 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92894 |
29 | Plasma source type | 79716 |
28 | 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? | 23427 |
27 | Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 | 21327 |
26 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19403 |
25 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 16048 |
24 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14450 |
23 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9845 |
22 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8586 |
21 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6370 |
20 | 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] | 6075 |
19 | 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] | 4573 |
18 | RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] | 3458 |
17 | PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] | 3341 |
16 | 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] | 2677 |
15 | ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2277 |
14 | N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] | 1829 |
13 | ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] | 1780 |
» | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 1497 |
11 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1402 |
10 | ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] | 1280 |