Others RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다.
2017.11.09 21:13
안녕하세요,
재료공학과 연구실에서 연구를 하고 있는 대학원생입니다.
항상 좋은 답변 해주셔서 많은 도움을 받고 있습니다.
제가 이번에 Arcing 관련 이슈를 공부하고 있는데,
1. DC plasma에서의 arcing과 RF plasma에서의 arcing사이에 어떤 차이가 있는지 궁금합니다.
그리고,
2. RF plasma에서 발생하는 arcing을 줄일 수 있는 방법에는 어떠한 것들이 있는지도 궁금합니다.
감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [293] | 77384 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20522 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57462 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68988 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93011 |
| 30 | Plasma source type | 79740 |
| 29 | 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? | 23450 |
| 28 | Xe 기체를 사용한 플라즈마 응용 | 21333 |
| 27 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19417 |
| 26 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 16062 |
| 25 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14454 |
| 24 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9849 |
| 23 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8594 |
| 22 | 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] | 6382 |
| 21 |
코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다.
[1]  | 6139 |
| 20 | 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] | 4678 |
| » | RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] | 3476 |
| 18 | PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] | 3352 |
| 17 | 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] | 2734 |
| 16 | ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] | 2321 |
| 15 | N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] | 1909 |
| 14 | ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] | 1811 |
| 13 | N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] | 1531 |
| 12 | Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [1] | 1426 |
| 11 | ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] | 1293 |