Langmuir Probe 플라즈마 측정기
2009.08.06 11:38
안녕하세요.
플라즈마 자료 검색을 하다가 찾게되었고, 자세한 답변을 기대하며, 질문을 드리게 됩니다.
플라즈마에 대해서 공부를 하고 있는데요. 주어지는 전압, 전류에 따라서 플라즈마가 변하는 것을
어떤 분석장비로 분석을 할수 있는지 알아보려합니다.
분석 장비 이름이라도 알면은 검색이라도 해서 찾아볼텐데, 어떠한 장비가 있는지도 잘 모르겠습니다.
장비 이름과 간단한 분석 원리 및 분석 가능 파라미터등을 알고 싶은데,
정말 간단히 분석 장비 이름이라도 꼭 답변을 달아주셨으면 합니다.
현재 아는것은 랭뮤어 뿐이 모릅니다.. 꼭 부탁드립니다. 감사합니다.
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [281] | 77182 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20453 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57351 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68893 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92929 |
| 204 | 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] | 21340 |
| 203 | H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] | 24701 |
| 202 | dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] | 26240 |
| 201 | 몇가지 질문있습니다 | 16582 |
| 200 | 플라즈마내의 전자 속도 [1] | 21931 |
| 199 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 18028 |
| 198 | matching box에 관한 질문 [1] | 29703 |
| 197 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18021 |
| 196 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19364 |
| 195 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19579 |
| 194 | Dry Etcher 에 대한 교재 [1] | 22560 |
| » | 플라즈마 측정기 [1] | 21342 |
| 192 | Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] | 22264 |
| 191 | Arcing [1] | 28679 |
| 190 | RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] | 24786 |
| 189 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18793 |
| 188 | 궁금해서요 | 16321 |
| 187 | PM을 한번 하시죠 | 19736 |
| 186 |
CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마...
[1]  | 20403 |
| 185 | Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [1] | 22803 |
아울러 일반 플라즈마 관련 책자에서도 탐침법이 간단하게 소개되어 있습니다. 참고하세요.