60 MHz pulse generator와 60 MHz matching box를 구입하여 pulse plasma 특성들 (EEDF, Vp, Te, etc..)을 Langmuir probe를 이용해 측정하려 합니다.  그런데 pulse plasma 측정 방법에 대해 아는 부분이 없습니다.  일반적인 cw plasma 측정과 달리 pulse plasma는 TTL signal이 필요하다고 하는데 TTL signal이 무엇인지 궁금합니다.
그리고 pulse 주기에 따라 이를 측정하기 위한 장치들이 필요하다면 무엇이 필요한지 알고 싶습니다.
time-resolved, time-dependent plasma의 차이도 궁금하구요...

저희 Langmuir probe는 Hiden 社이며 EPison controller를 이용하고 있습니다.

한번에 너무 많은 것을 물어봐서 죄송합니다만, 자세히 알고 싶습니다.

부탁드립니다.

(혹시 관련 manual 자료가 있으면 받을 수 있을까요?)

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77310
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20506
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57415
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68958
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92990
230 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 1032
229 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1030
228 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1030
227 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1028
226 고진공 만드는방법. [1] 1022
225 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 1021
224 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1011
223 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 1005
222 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 991
221 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 989
220 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 989
219 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 977
218 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 975
217 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 970
216 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 948
215 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 947
214 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 945
213 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 941
212 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 930
211 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 923

Boards


XE Login