안녕하십니까

플라즈마 발생을 억제시킬수 있는 방법은 무엇인지 어쭙고자 글을 올리게 되었습니다.

고주파 유도가열(3MHz)을 이용하여 실리콘(Si)을 가열하여 아르곤 분위기에서 실리콘 결정성장을 시키고 있습니다.

(코일은 팬케이크 형태임.)결정 성장을 시킬때 가끔씩 코일에 플라즈마가 발생하며,이로인해 코일arcing이 가끔 발생하여 코일이

소손되는것 같습니다.

플라즈마 발생을 억제시킬수 있는 방법이 없을지 문의 드립니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77208
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20465
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57361
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68900
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92946
306 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7134
305 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7340
304 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7676
303 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7678
302 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7714
301 MFP에 대해서.. [1] 7838
300 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 8078
299 고온 플라즈마 관련 8091
» 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 8132
297 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 8158
296 핵융합에 대하여 8565
295 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8585
294 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8587
293 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 8635
292 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8636
291 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 8671
290 수중플라즈마에 대해 [1] 8775
289 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 8792
288 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 8811
287 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8942

Boards


XE Login