안녕하세요

상압 플라즈마와 관련하여 몇가지 문의 드릴려고 합니다.

1. 헬륨 가스를 이용하여 상압 플라즈마를 발생 시켰을때, 헬륨 이온이 생성 될때 발생하는

    전자로 인하여 공기중의 다른 원소들이 이온화 된다고 알고 있습니다. 그럼 이온화된

    헬륨은 인체 또는 공기에 어떤 영향을 끼치는지 문의 드립니다.

 

2. 텅스텐을 세라믹으로 감싼 전극과 아노다이징 된 알루미늄 사이(0.5mm)에 물 미립자를 통과 시켜서

    -OH 라디칼 이온을 만들려고 했는데, 오존이 종종 발생 됩니다. 전극에서 전달된 에너지가

    -OH 라디칼 이온과 오존 중 어떤 걸 먼저 만들어 내는지 알 수 있을까 해서요..

 

우선은 두가지 문의 드립니다.

제 이메일 주소는 vngkgk11@gmail.com 입니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77207
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20465
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57361
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68900
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92946
326 plasma 형성 관계 [1] 1581
325 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1573
324 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1572
323 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1553
322 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1549
321 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1545
320 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1537
319 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 1525
318 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1513
317 ICP lower power 와 RF bias [1] 1506
316 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1504
315 charge effect에 대해 [2] 1501
314 알고싶습니다 [1] 1488
313 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1485
312 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1481
311 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1473
310 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1473
309 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1464
308 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1464
307 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1460

Boards


XE Login