Matcher ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다.
2013.06.15 10:25
안녕하세요. 반도체 회사에 재직중인 신입ENG'R 입니다.
질문이 있어 찾아오게 되었습니다.
ETCH설비에서 특정 공정을 진행시키면 Step 중간에 TCP 및 BIAS REF 값이 튀는 현상이 발생하였고
RF MATCHING 과정에 문제가 있다 판단되어 원인을 찾던 중 RF Generator와 MATCHER BOX 사이의 Coxial Cable
길이가 다름을 확인 할 수 있었습니다.
그리하여 교체 후 정상이 됨을 확인 할 수 있었지만 회사 선배님들은 STEP 중간에 REF 값이 흔들리는 경우가 드물다고 하며
원인을 모르겠다고합니다. 그 원인을 저에게 찾아오라고하네요 ^^;;; 도움이 필요합니다~!!
1. Coxial cable 길이가 Impedence Matching에 영향을 주는건 알겠는데 왜 Etch step 초반에는 Ref값이 정상이다가
Step 중간부터 흔들리고 튀는 현상이 발생하는가??
2. 만약 Coxial cable 문제라면 타 ETch 공정시에서는 영향을 주지않고 왜 특정 공정에서만 발생하는가?
(즉, Coxial Cable의 길이가 ETCH공정에 어떠한 영향을 주는가??) 입니다.
저도 따로 공부를 하고있지만 더 정확한 지식을 얻고자 도움을 요청합니다~ ^^:;; 정말 감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76897 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20286 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57205 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68759 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92719 |
799 | 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] | 15 |
798 | 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] | 16 |
797 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 17 |
796 | Druyvesteyn Distribution | 24 |
795 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 31 |
794 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 35 |
793 | Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. | 62 |
792 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 65 |
791 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 71 |
790 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 74 |
789 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 76 |
788 | Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] | 78 |
787 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 82 |
786 | 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] | 84 |
785 | 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] | 90 |
784 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 95 |
783 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 98 |
782 | RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] | 121 |
781 | 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] | 124 |
780 | Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] | 125 |
1. RF제너레이터의 전력 안정시 응답 특성과 플라즈마의 인가 전력에 따른 응답 특성이 다른데,
서로 증폭되는 방향으로 맞춰질 경우 전력안정화에 문제가 생깁니다.
2. 플라즈마 특성 상 하모닉스 성분이 발생할 경우 Ref로 인식될 수 있습니다.
위의 두 상황에 대한 대응으로 Coaxial Cable의 길이를 변경하여 개선할 수 있습니다.
자세한 내용은 RF 공급업체에 문의 하시면 답변을 얻으실 수 있습니다.