플라즈마를 이용해서 가스 분해를 해봤는데요

분광진단을 통해서 플라즈마 토치의 위치별 분해된 종들의 rotational temperature를 측정해 봤습니다.

근데 어떤 한 분해종이 플라즈마 토치중심부에서  위로 올라갈수록 온도가 올라가는 경향이 타나났습니다.

이런 현상이 나타나는 원인이 무엇인가요? 몇번을 측정해도 같은 결과가 나오더군요

혹시 rotational temperature가 밀도와 관련이 있나요? 그 분해종은 저온영역에서 밀도가 급속도로 높아지는 경향이 보이거든요

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77311
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20506
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57415
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68958
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92991
290 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] 1381
289 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1379
288 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1353
287 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1352
286 플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요. [1] 1347
285 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [3] 1346
284 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [1] 1329
283 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 1327
282 RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유 [1] 1304
281 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1304
280 플라즈마 기초입니다 [1] 1302
279 플라즈마 챔버 [2] 1297
278 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1288
277 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 1281
276 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] 1277
275 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 1265
274 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1259
273 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [1] 1256
272 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1240
271 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [1] 1239

Boards


XE Login