OES 자료 요청드립니다.

2014.06.12 01:00

ringring 조회 수:6523

안녕하세요?

삼성반도체에서 식각 공정 OES 평가 업무를 하고 있습니다.

진공학회에서 OES자료를 찾다가  필요한 부분이 있어 자료 요청드립니다.

제목 : 광진단을 통한 플라즈마 공정 상태 변동 메커니즘 분석  


진공학회 및 DB PIA에서는 1page만 있어  Full ver.이  필요합니다.

참고로 구매를 했는데도 1page만 보이고 있어 메일로 요청드립니다.


이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 101961
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24496
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61149
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73192
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105372
293 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해] [1] 2571
292 수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의] [1] 1591
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Depostion Rate 감소 현상 문의 [전자의 에너지와 중성입자와의 충돌] [1] 3213
290 수중 방전 관련 질문입니다. [수중 방전 플라즈마의 특징] [1] 9972
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [이차 전자의 방출 특성] [1] 2386
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching] [1] 2152
287 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [대기압 플라즈마와 라디컬 생성] [1] 2920
» 자료 요청드립니다. [1] 6523
285 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 17216
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3235
283 저온플라즈마에 관해서 [플라즈마 방전의 특성] [1] 7061
282 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [플라즈마 토치에서의 Rotational temperature] [1] 1729
281 방전에서의 재질 질문입니다. [방전과 전압] [1] 3778
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 6150
279 N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가] [1] file 8918
278 the lines of magnetic induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [Ideal MHD plasma의 magnetic flux conservation] [1] file 4107
277 정전척 isolation문의 입니다. [Paschen's law와 절연파괴현상] [1] 8040
276 Microwave 장비 관련 질문 [RF Plasma의 주파수에 따른 파장의 길이] [1] 8818
275 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [플라즈마 밀도와 중성 가스의 균일도] [1] 8356
274 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [플라즈마의 형성 원리] [1] 9631
쓰기
태그

Boards

XE Login