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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화
[1] | 1875 |
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N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다.
[1] | 1836 |
344 |
wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상
[1] | 1834 |
343 |
Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
[1] | 1815 |
342 |
ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage
[1] | 1788 |
341 |
CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문
[1] | 1778 |
340 |
터보펌프 에러관련
[1] | 1777 |
339 |
CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다.
[3] | 1726 |
338 |
압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 1724 |
337 |
다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련
[1] | 1714 |
336 |
RF 전압과 압력의 영향?
[1] | 1711 |
335 |
standing wave effect에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 1703 |
334 |
EEDF, IEDF, Cross section관련 질문
[1] | 1697 |
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안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다.
[1] | 1691 |
332 |
Pecvd 장비 공정 질문
[1] | 1691 |
331 |
Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여
[1] | 1681 |
330 |
ICP reflecot power 관련 질문드립니다.
[1] | 1646 |
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CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다.
[3] | 1642 |
328 |
전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1] | 1624 |
327 |
Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다.
[1] | 1596 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.