공기를 넣어서 플라즈마를 만들었다면 대부분 N2 위주의 플라즈마가 만들어 졌을 것입니다. 산소는 오히려 플라즈마가 유지되는데 방해를 합니다. 아무튼 공기 플라즈마에서 가스 입력 부분에 가스를 연결하고 사용할 수는 있습니다. 단지 가스 유량을 조절해야 하므로,  간단하게는 regulator 이후 장비 가까이에 needle valve 등을 이용하거나 MFC를 이용하는 편이 좋습니다. 압력은 공기 플라즈마 조건과 유사하게 맞춰 놓고 플라즈마 방전을 시켜 보기 바랍니다. 만일 방전 개시 등의 문제가 되는 듯 하면, 공기 플라즈마를 유지한 채로 수소 가스를 혼합시키면서 (이때는 vent를 살짝 열어서 공기를 주입하여 플라즈마가 만들어진 상태에서 수소를 넣어서 mole 비를 조절하는 것입니다) 공기 플라즈마는 현 장치에서 잘 만들기 때문입니다.

헌데, 왜 수소 플라즈마를 쓰려고 하는지? 수소 플라즈마가 grid 표면에 어떤 물질을 제거하기 위해서 사용하는 것인지 궁금하군요. 수소 플라즈마를 만들어서 조사시키면 그리드 재료에 수소 가스의 retention이 있을 수 있습니다. 배경을 조사해 보고 시작하는 것이 좋겠습니다. 

공기의 구성에 N2가 O2 보다 많습니다. 두 분자 모두 해리 반응으로 N과 O가 만들어지고 이들은 모두 표면과 공간에서 반응을 하게 됩니다. 따라서 선택적인 반응을 원한다면 가스를 선별해서 넣고, 표면 에너지에 대해서는 화공에서 더욱 잘 다룸으로 처리후 친수/소수성 자료를 얻어 에너지 해석을 해 보면 적합한 처리 조건을 찾는 연구를 진행할 수 있을 것입니다. 일반적으로 많이 하고 있는 연구이니 자료는 주변에 많이 있을 것입니다.