Plasma in general (PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법]

2018.08.06 10:14

베컴 조회 수:606

안녕하십니까? 반도체 현업 종사자 입니다.

 

(PAP)plasma absorption probe관련하여, 측정을 진행하고 있습니다. 플라즈마 밀도 측정입니다.

 

일단 측정을 하기 위해서 펄스제너레터, 펄스 트리거, 오실로스코프등을 준비하여 측정을 하고 있는데요.

 

원리가 주파수에 따라서 전자밀도를 측정하는것으로 추정하고 있습니다.

 

일반검색자료애서 (PAP)plasma absorption probe관련 자료가 잘 검색이 되지 않아서요....

 

교수님, 외람되지만, (PAP)plasma absorption probe관련 원리와 추천해주실 논문 있으시면 부탁드립니다.

 

그리고, 이 측정 방법도 간접적 측정이 아닌 직접적 측정방식으로 알고 있습니다. 랑뮤어 프로브는 플라즈마 간섭현상이 있어서 정확도 떨어지는 것으로 알고 있느데....제가 생각하기로는 분광기를 통한 전자밀도 측정이 정확하다고 생각합니다. 굳이 (PAP)plasma absorption probe를 사용하는 이유가 있는지요?? 다른 방법대비 장점이 있는지가 궁금합니다.

 

감사합니다. 좋은하루 보내십시오.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [321] 86442
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22669
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 59375
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 71133
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 98367
428 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해] [1] 963
427 Descum 관련 문의 사항. [라디컬 및 이온 생성과 플라즈마 생성 메커니즘] [1] 4140
426 RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화] [1] 805
425 Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선] [1] 1032
424 Plasma 발생영역에 관한 질문 [Plasma sheath의 형성과정] [2] 1583
423 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [상압 플라즈마 방전 메커니즘과 특성] [1] 574
422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature] [1] 6131
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자] [1] 1376
420 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정] [1] file 611
419 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1211
418 RF 변화에 영향이 있는건가요? 17577
417 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [광운대 최은하 교수님] [1] 607
416 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응] [1] 1008
415 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발] [1] 854
414 etching에 관한 질문입니다. [충돌 현상 및 이온화 과정] [1] 2533
413 코로나 방전의 속도에 관하여 [코로나 방전의 이해] [1] 3580
412 RF Vpp관련하여 문의드립니다. [Self bias와 플라즈마 쉬스] [1] 6032
411 DRAM과 NAND 에칭 공정의 차이 ["플라즈마 식각 기술"] [1] 5780
» (PAP)plasma absorption prove 관련 질문 [PAP 진단법] [1] 606
409 SI Wafer Broken [Chucking 구동 원리] [2] 2905
쓰기
태그

Boards

XE Login