Plasma Source Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선]

2018.10.24 11:25

Elin0503 조회 수:1122

안녕하세요.  

플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.

 

한가지 질문 드릴게 있어서요,

Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서

두개의 matching box로 가게 가능 할까요?

 

즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.

이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서 

어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?

 

관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102038
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24528
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61177
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73222
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105416
433 RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화] [1] 1565
432 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문있습니다. [이온과 전자의 속도 차이와 Gate valve의 위치] [1] 2417
431 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 618
430 수중속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다. [방전 특성과 절연 파괴] [2] file 808
429 자기 거울에 관하여 1235
428 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해] [1] 1052
427 Descum 관련 문의 사항. [라디컬 및 이온 생성과 플라즈마 생성 메커니즘] [1] 4346
426 RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화] [1] 890
» Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선] [1] 1122
424 Plasma 발생영역에 관한 질문 [Plasma sheath의 형성과정] [2] 1686
423 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [상압 플라즈마 방전 메커니즘과 특성] [1] 673
422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature] [1] 6250
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자] [1] 1473
420 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정] [1] file 680
419 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1308
418 RF 변화에 영향이 있는건가요? 17601
417 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [광운대 최은하 교수님] [1] 707
416 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응] [1] 1132
415 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [전극 설계 및 방전기 운전 모드 개발] [1] 957
414 etching에 관한 질문입니다. [충돌 현상 및 이온화 과정] [1] 2674
쓰기
태그

Boards

XE Login