Plasma Source RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화]

2018.11.20 16:00

RFPlasma 조회 수:1668

안녕하세요 저는 RF Plasma 관련 직종에 근무하는 직장인 입니다.

 RF generator에서 Frequency tuning (주파수 가변)  기능을 사용하고 있는데, 주파수 변화에 따라서 Matcher에서 읽혀지는 Vrms 값이 심하게 변화하는것을 확인하였습니다.

Frequency 높아질수록 (13.56Mhz 기준) Vrms 높아짐 / Irms 큰변화 없음 / Phase 높아 지는데, 왜 Frequency 변화에 따라 Vrms와 Phase가 변하고, Irms는 큰 변화가 없는 것일까요?

주파수에 따른 Vrms, Irms, Phase의 연관성을 알수 있을까요.

조언 부탁드립니다.

 

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [337] 109514
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 27052
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 64190
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75978
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 109927
435 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [Gas별 고유한 플라즈마 색] [1] 4501
434 RF magentron sputtering시 플라즈마 off 현상 [Sputter 문제] [1] 1109
» RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화] [1] 1668
432 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문있습니다. [이온과 전자의 속도 차이와 Gate valve의 위치] [1] 2490
431 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 663
430 수중속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다. [방전 특성과 절연 파괴] [2] file 867
429 자기 거울에 관하여 1294
428 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [Breakdown 이해] [1] 1106
427 Descum 관련 문의 사항. [라디컬 및 이온 생성과 플라즈마 생성 메커니즘] [1] 4484
426 RPC ClEAN시 THD 발생 [RF shield와 ground의 강화] [1] 958
425 Plasma Generator 관련해서요. [Matcher 성능 개선] [1] 1161
424 Plasma 발생영역에 관한 질문 [Plasma sheath의 형성과정] [2] 1770
423 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [상압 플라즈마 방전 메커니즘과 특성] [1] 717
422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [Electron Temperature와 Excitation Temperature] [1] 8493
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [Chamber impedance와 공정 드리프트 진단 인자] [1] 1548
420 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [Plasma breakdown과 살균 과정] [1] file 710
419 고전압 방전 전기장 내 측정 [전극과 탐침과의 간격] [1] file 1388
418 RF 변화에 영향이 있는건가요? 17630
417 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [광운대 최은하 교수님] [1] 756
416 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해보고 싶습니다. [플라즈마 가속 전자의 충돌 반응] [1] 1191
쓰기
태그

Boards

XE Login