Plasma in general RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다
2018.12.30 00:14
안녕하세요 반도체회사에서 일하는 엔지니어입니다.
RF MATCHING NETWORK에 대해 독학을 하고 싶은데 관련 교재 추천 부탁드리겠습니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76897 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20286 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57205 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68759 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92719 |
619 | PDP 에 대해서.. | 18307 |
618 | sputtering | 18303 |
617 | 플라즈마와 사용되는 기체선택 | 18255 |
616 | 마그네트론관 또는 그외반도체소자로 물을 고열증발가능? | 18217 |
615 | ICP에 대하여 | 18198 |
614 | 저온 플라즈마에 관한 질문 | 18194 |
613 | rotational vibration excitation | 18189 |
612 | 진로상담 | 18150 |
611 | 증착에 대하여... | 18105 |
610 | DBD plasma | 18097 |
609 | 플라즈마의 정의 | 18045 |
608 | Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? | 18045 |
607 | 플라즈마를 알기위해서는 어떤것을 알아두는 것이 좋.. | 18021 |
606 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18015 |
605 | Plasma of Bio-Medical Application | 18008 |
604 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 18006 |
603 | electrode gap | 17958 |
602 | 플라즈마 응용분야 | 17867 |
601 | QMA에서 electron beam의 generation 과정 [1] | 17853 |
600 | capacitively/inductively coupled plasma | 17815 |
글쎄요, matcher를 책자로 정리한 경우는 회사 사내 교재 밖에 본 적이 없습니다.
다만 우리가 고려하는 matcher의 load인 플라즈마 imdedance를 고려한 matching 설계에 관한 내용은 공정플라즈마 공학 관련 책에서 찾으실 수 있습니다. CCP 및 ICP 경우가 다르며 이에 대해서 잘 설명이 되어 있는 참고서적은 "Principles of plasma discharges and materials processing' 2nd ed. 'M.A. Liebermann and A.J.Lichtenberg (Wiley) 혹은 Inductrilal plasma engineering, JR Roth (IOP)를 추천합니다.
아울러 본 게시판에서 논의된 matcher QA 내용이 도움이 될 수도 있겠습니다. 게시판 내용을 확인해 보세요.