Plasma in general 플라즈마 코팅

2019.01.26 01:10

12bubu 조회 수:1048

플라즈마를 코팅 기술에 사용할때 단점이나 보안할 점을 알려주실수있을까요? 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [284] 77284
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20486
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57404
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68931
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92985
469 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 4271
468 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 4185
467 RPSC 관련 질문입니다. [2] 4097
466 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 4057
465 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 4034
464 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 4031
463 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 4026
462 Plasma 식각 test 관련 문의 [1] 3993
461 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3979
460 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 3884
459 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 3882
458 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3870
457 Descum 관련 문의 사항. [1] 3798
456 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3758
455 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3712
454 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3711
453 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 3640
452 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3621
451 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 3618
450 ESC Cooling gas 관련 [1] 3596

Boards


XE Login