Plasma in general 플라즈마 PIC 질문드립니다.

2020.08.04 23:19

palc 조회 수:10406

ICP구조에서 PIC 시뮬레이션을 하려고 합니다. 

 Ar+의 particle의 움직임을 관찰할 때 해석 time step의 size가 1/(plasma frequency)보다 작아야 한다고 알고있습니다.

이 때 Ar+의 입자를 분사하는 시간을 질문드립니다.

그리고 PIC관련 서적 추천 부탁드립니다.

감사합니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] 77312
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20507
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57416
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68960
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92991
570 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 1100
569 Plasma Arching [1] 1104
568 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 1105
567 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 1112
566 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 1121
565 Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] 1128
564 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1131
563 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 1145
562 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. 1152
561 자기 거울에 관하여 1152
560 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 1155
559 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 1156
558 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1157
557 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] 1159
556 wafer bias [1] 1166
555 Group Delay 문의드립니다. [1] 1169
554 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] 1175
553 공정플라즈마 [1] 1175
552 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] 1176
551 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 1182

Boards


XE Login