안녕하세요. 플라즈마응용연구실 관라자입니다.

 

금일부터 QnA 글을 작성하기 위해 등업제도를 일부 이용합니다.

 

해당 공지 게시글에 가입 인사를 적어주시면 QnA 글을 쓸 수 있는 권한을 받게 됩니다.

(*별도의 권한 처리 없이 댓글 등록시 바로 QnA 작성이 가능해집니다.)

 

글 작성 전에 반드시 댓글을 남겨주시고 QnA 글을 작성해주시기 바랍니다.

 

감사합니다.

 

** 기존에 글을 작성하셨던 분들도 권한 처리가 필요하므로 간단하게라도 댓글 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
» [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 80289
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21498
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58303
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69903
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 95004
84 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [Plasma Cleaning] [1] 453
83 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장] [1] 452
82 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열] [2] 449
81 plasma modeling 관련 질문 [Balance equation] [1] 438
80 ICP에서의 Self bias 효과 [DC offset voltage와 floating potential] [1] 427
79 chamber에 인가되는 forward power 관련 문의 [송전선로 모델 및 전원의 특성] [1] 420
78 메틸기의 플라즈마 에칭반응 메커니즘 [공정 플라즈마] [1] 412
77 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 410
76 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [전자 충돌 현상 및 입자 충돌 현상] [1] 404
75 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield] [1] file 403
74 RIE Gas 질문 하나 드려도 될까요? [Sheath instability] [1] 399
73 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포] [1] 393
72 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 383
71 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 383
70 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 378
69 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트] [1] 378
68 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 374
67 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [Rise rate] [1] 374
66 CF4/Ar 을 활용한 Si/SiO2 에칭에 관한 질문입니다. [식각 교재 참고] [1] file 373
65 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [박막 문제] [1] 365

Boards


XE Login