Others 플라즈마를 통한 정전기 제거관련.
2021.07.09 14:56
안녕하세요. 반도체 관련 엔지니어로 근무하고 있는 직장인입니다.
현재 공정이 완료된 텅스텐 재료에 대기압 플라즈마를 가하여 정전기 제거를 하고있습니다.
Ar gas를 이용하였으며 정전기 측정장비로 제거 되는 것 까지는 확인 되었습니다.
추가로 여쭤보고 싶은 부분이 정전기 제거 후에도 반영구적으로 정전기가 발생하지 않는 것도 확인이 되는데요.
이 부분에 대해서는 관련 자료를 찾아보아도 나오는 부분이 거의 없어서요.
O, N 라디칼들이 계면에서 어떠한 에너지 반응을 일으키는 건지. 텅스텐 표면에 어떤 결합에너지에 영향을 주는 것인지 궁금하네요.
플라즈마를 통하여 정전기 방지가 유지되는 것이 어떠한 Process로 진행될 수 있는지 궁금합니다.
고견 여쭙겠습니다. 감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] | 77331 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20510 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57430 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68969 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92996 |
650 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19202 |
649 | 기중방전에서 궁금한것이 | 19172 |
648 | AMS진단에 대하여 궁금합니다 | 19057 |
647 | 플라즈마에 관하여... | 18970 |
646 | RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] | 18883 |
645 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18821 |
644 | 플라즈마의 환경이용 | 18775 |
643 | 등온플라즈마와 비등온플라즈마 | 18770 |
642 | 플라즈마진단법엔 어떤것이? | 18749 |
641 | 주변의 플라즈마에 대하여 | 18664 |
640 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18576 |
639 | surface wave plasma 에 대해서 [1] | 18567 |
638 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18562 |
637 | 최적의 펌프는? | 18555 |
636 | 형광등에서 일어나는 물리적인 현상 | 18541 |
635 | RF compensate probe | 18463 |
634 | 물리적인 sputterting | 18390 |
633 | Faraday shielding & Screening effect | 18375 |
632 | 질문 있습니다. [1] | 18373 |
631 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18326 |
플라즈마에서 가속 이온이 제공되고, 이로 인해 dangling bond 들이 많아지는 것을 가정해 볼 수 있겠습니다. 동시에 전자들도 입사되므로, 각 bond에 전하가 붙게 되고, 또한 radical 들도 결합이 되게 될 것입니다. 주로 산소와 질소 라디컬들이 잘 결합하겠습니다. 하지만
각 반응의 상수와 결합 과정 및 그 결합이 얼마나 강력한가, 즉 후속 반응이 존재하는 경우 잘 견딜 것인가에 대해서는 잘 이해하지 못합니다. 표면 과학을 전공하시는 분이 답을 주실 수 있을 것 같습니다. 다만, 플라즈마 분위기에서 표면으로 전달되는 항목으로는
전자, 이온 (질량과 에너지), 화학 반응(라디컬) 과 UV가 동시에 제공됨을 참고하시고, 표면 반응 자료를 찾아 보시기를 추천합니다.