안녕하세요 대학원생 석사 과정을 밟고 있는 위창현입니다.

질문드리고 싶은 내용은 다름이 아니라 corona phase와 같은 특수한 경우 ionization ratio인 ion number density와 neutral particle number density의 비가 electron impact ionization rate coefficient와 radiative recombination rate coefficient의 비로 표현할 수 있게 되고, 전자의 밀도와 연관이 없는 것으로 식이 나타내지게 되는데, 플라즈마에서는 플라즈마의 전하가 quasi neutral을 띠기 때문에 전자의 수와 이온의 수가 같은 것을 알 수 있습니다.

질문은 quasi neutral상태의 ionization ratio에서 ion number density대신 electron number density를 쓰면 안되는 이유는 뭔가요?

 

number density의 개념이기 때문에, 전자의 온도가 이온의 온도보다 매우 높은 비평형 플라즈마에서는 electron number density가 ion number density보다 높기 때문에 ionization ratio에서 ion number density를 사용하는 것인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [337] 109377
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 26994
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 64116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75896
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 109795
715 메틸기의 플라즈마 에칭반응 메커니즘 [공정 플라즈마] [1] 817
714 안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다. [플라즈마 이온화 및 해리 반응, 반응기 벽면 세정] [1] 1042
713 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메커니즘에 대해 질문하고 싶습니다. [플라즈마-화학-표면 반응 모델] [1] 705
» corona model에 대한 질문입니다. [준중성과 저압플라즈마] [1] 413
711 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [대기압 환경 플라즈마와 라디컬 분포] [1] 534
710 plasma 공정 중 색변화 [플라즈마 진단과 분광학] [1] 1439
709 ISD OES파형 관련하여 질문드립니다. [SiC 식각과 Ring 교체 주기 및 모니터링 방법] [1] 945
708 PEALD장비에 관해서 질문드리고 싶습니다. [장비 세정 및 관리 규칙] [1] 911
707 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [RF 접지 및 체결, 결합부분 교체] [1] 1257
706 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [플라즈마 확산과 밀도 분포] [1] 616
705 SI 표면에 Ar Plasma Etching 하면 안되는 이유 [표면 전처리] [1] 1912
704 OES를 통한 공정 개선사례가 있는지 궁금합니다. [플라즈마의 분포와 공정 진단] [1] 1062
703 self bias [쉬스와 표면 전위] [1] 873
702 Self bias 내용 질문입니다. [쉬스와 표면 전위] [1] 1349
701 경전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 1199
700 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [플라즈마 생성, Plasma collision reaction] [1] 910
699 PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [Ar plasma, Ar metastable] [1] 2078
698 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [Plasma Cleaning] [1] 665
697 ICP lower power 와 RF bias [Self bias, Floating sheath] [1] 2130
696 CCP RIE 플라즈마 밀도 [Global model, Plasma generation, Ionization collision] [1] 1004

Boards


XE Login