Plasma in general RF 주파수에 따른 차이점
2023.10.12 16:38
안녕하세요 인터넷에 아무리 찾아도 명확한 답을 찾을 수 없어서 가입 후 글을 남깁니다.
보통 RF 주파수라고 하면 13.56MHz 를 주로 쓰지만 공정에 따라 27.12MHz, 40.68Hz, 60MHz 도 사용하는걸로 알고 있습니다
그런데 왜 13.56MHz 의 2배수인 27.12MHz, 3배수인 40.68MHz 를 정하여 사용하는지 알고싶습니다
또 2배수, 3배수를 사용하지 않았을때의 현상도 추가적으로 궁금합니다.
기본적이고 원초적인 질문 일수 있지만 명확한 해답을 알고 싶어 글 남깁니다
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좋은 질문입니다.
현재 언급하신 주파수는 산업용 RF 장치로 허용된 주파수이며, 규정은 FCC (Federal Communication Commissions: https://www.fcc.gov/)에 따릅니다.
하지만 RF 주파수 선택은 만들어진 plasma의 특성, 즉 ion plasma frequency, electron plasma frequency를 기준으로 선택하게 됩니다. 관련된 주파수는 전자 충돌 주파수, 이온충돌 주파수이며 자기장 환경에서는 ion gyrofrequency 및 electron gyrofrequency 가 주파수 선택의 기준이 됩니다.
RF 기준은 플라즈마 이온, 전자 주파수로 부터 시작하면 좋습니다. 관련 현상에 대해서 본 게시판에 설명이 되어 있으니 참고하시기 바랍니다.