안녕하세요. 기업에서 플라즈마를 활용해 연구 중인 직장인입니다.

 

아직은 배우고 있는 단계라서 정확히는 모르지만 실험중 일어난 현상에 대해서 조언을 구하고자 질문 드립니다.

 

석영관을 유전체, 황동을 금속전극으로 Ar가스로 실험중에 석영관이 검게 타면서 작게 구멍이 났습니다. 

 

이런 현상이 자주 발생하는 건지, 그리고 발생하는 원인에 대해서 조언을 구합니다.

 

감사합니다.  

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76897
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20289
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57207
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68760
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92719
759 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 626
» DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 143
757 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 426
756 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [2] 197
755 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 271
754 PECVD Uniformity [1] 555
753 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 663
752 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 258
751 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 400
750 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 320
749 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 743
748 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 416
747 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 803
746 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 794
745 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 482
744 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 326
743 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 302
742 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 519
741 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 408
740 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 517

Boards


XE Login