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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75827
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515 간단한 질문 몇개드립니다. [공정 drift와 database] [1] 856
514 matcher에서 load, tune의 역할이 궁금합니다. [Matcher와 impedance] [1] 13079
513 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [Particle 관리] [1] 1262
512 Hollow Cahthode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [장치 setting과 전극재료] [1] file 1133
511 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 20088
510 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [RF plasma와 circuit model] [1] 1149
509 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [Etch와 IEDF] [2] 4333
508 진학으로 고민이 있습니다. [복수전공] [2] 1490
507 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [Skin depth, global model과 floating potential] [2] 1611
506 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [Flow rate와 moral ratio, resident time] [1] 3857
505 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [핵융합 연구소] [1] 826
504 ICP reflecot power [Insulator와 rf leak] [1] 2142
503 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [MFC와 residence time] [1] 2690
502 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [ESC와 matcher] [1] 14580
501 Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [Step ionization, Dissociative ionization] [1] 3146
500 공정플라즈마 [플라즈마 입자 거동 및 유체 방정식] [1] 1521
499 임피던스 매칭회로 [전기공학 회로 이론 및 impedance matching] [1] file 3466
498 전쉬스에 대한 간단한 질문 [Debye length 및 sheath 형성] [1] 910
497 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [Plasma chemistry] [3] 2173
496 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [고전압 방전 및 DBD] [2] 2312
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