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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2
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center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [CCP 균일도, CCP edge]
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RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭]
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안녕하세요, RPS나 DEPOSITION 간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [플라즈마 충돌 반응]
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RIE Gas 질문 하나 드려도 될까요? [Sheath instability]
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RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise]
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안녕하세요 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [E x B drift]
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CURRENT PATH로 인한 아킹 [RF 접지 면접촉 개선]
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740 |
플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [전자 가열 방법 및 생산성에 따른 구별]
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주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [ICP, CCP 플라즈마 heating]
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remote plasma를 이용한 SiO2 ethching 질문드립니다. [식각률 self limit과 쉬스 에너지 변화]
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737 |
ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [방전 기전]
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736 |
RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield]
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735 |
plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장]
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734 |
Arcing과 Self-DC Bias Voltage 상관 관계 [Self bias와 DC glow 방전]
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RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트]
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732 |
반사파와 유,무효전력 관련 질문 [플라즈마 생성과 가열]
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731 |
GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문
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730 |
N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [질소 플라즈마]
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Plasma 표면 개질에 대해 질문드립니다. [O2 플라즈마와 Ar 플라즈마]
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