ATM Plasma 상압 플라즈마 관련 문의입니다.
2008.10.10 16:12
안녕하세요..
상압 플라즈마 관련 업체에서 근무중인 김형석이라고 합니다.
다름이 아니라, 저희가 RF 플라즈마를 이용한 세정 장비를 개발 중에 있습니다.
모듈을 방전시 외부에 온도 라벨을 붙여 테스트 한결과, 약 7분 정도 지났을때, 접지 전극 온도가 약70도 정도 였습니다.
그러나, 그 순간 접지 전극이 휘는 현상이 발생하였습니다.
접지 전극을 새것으로 바꾸어도 마찬기지 현상이 발생합니다.
제 생각으로는 플라즈마가 불균일 하여, 생긴 현상이라 생각됩니다.
이에 대한 좋은 가르침 주시면 감사하겠습니다.
저희 장비는 리모트 타입으로써, 상부 전극은 Ag Paste에 절연체로는 세라믹을 사용중이며,
하부 전극은 알루미늄 아노다이징(60um)를 사용 중입니다.
전원은 RF를 사용 중입니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [287] | 77333 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20511 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57431 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68970 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92997 |
710 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 478 |
709 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 479 |
708 | 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [1] | 480 |
707 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 492 |
706 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 504 |
705 |
plasma striation 관련 문의
[1] ![]() | 504 |
704 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 505 |
703 | 플라즈마 세정처리한 PCB, Lead Frame 재활용 방법 [1] | 507 |
702 | 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] | 514 |
701 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 518 |
700 |
해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안
[1] ![]() | 521 |
699 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 527 |
698 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 531 |
697 |
안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다.
[1] ![]() | 545 |
696 | self bias [1] | 553 |
695 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 557 |
694 | Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] | 558 |
693 | 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] | 558 |
692 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 559 |
691 | Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] | 559 |