Skip to content
플홈
오시는 길
누구
질문방
검색
전체
Plasma in general
DC glow discharge
Collision
Sheath
Ion/Electron Temperature
Others
Plasma Source
ATM Plasma
CCP
ICP
Remote Plasma
Water Discharge Plasma
Others
Chamber component
Matcher
ESC
Pulse operation
Shower head
Chamber Impedance
Others
Monitoring Method
OES
Langmuir Probe
VI(Impedance) Sensor
B dot
Others
Process
Etch
Deposition
Sputtering
Ashing
Others
Ion/Electron Temperature
플라즈마내의 전자 속도
2009.10.16 04:52
정용현
조회 수:21935
추천:145
플라즈마 장비 내의 bias를 100W 정도 주었을 때, 전자의 속도를 알 수 있을까요?
댓글
1
목록
번호
제목
조회 수
공지
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[283]
77227
공지
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
20468
공지
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
57362
공지
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
68903
공지
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
92951
726
PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요
[1]
431
725
center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2
432
724
VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다.
[1]
435
723
플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거
[1]
440
722
H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련
[1]
443
721
standing wave effect, skin effect 원리
[1]
449
720
안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다.
[1]
453
719
CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의
[2]
453
718
glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다.
[1]
456
717
KM 모델의 해석에 관한 질문
[1]
456
716
ISD OES파형 관련하여 질문드립니다.
[1]
460
715
ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다.
[1]
463
714
안녕하세요 CLEAN GAS 관련 질문이 있습니다.
[1]
466
713
크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요?
[1]
472
712
Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다.
472
711
스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항
[1]
475
710
코로나 방전 처리 장비 문의드립니다.
[1]
476
709
Fluoride 스퍼터링 시 안전과 관련되어 질문
[1]
476
708
magnetic substrate와 플라즈마 거동
[3]
479
707
(PAP)plasma absorption probe관련 질문
[1]
489
Boards
Close Login Layer
XE Login
아이디
비밀번호
로그인 유지
회원가입
ID/PW 찾기
인증메일 재발송
Close Login Layer