Matcher 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [Matching과 L-type]

2011.01.03 12:29

한영일 조회 수:48861 추천:72

이제 막 Plasma라는 것에 발을 딛은 초보직장인인데요.

Mather장비는 A사 제품을 쓰고 있는데 항상 Matching test를 할때마다

tune과 load값이라는 것을 조정하여 맞추더군요.

솔직히 이 두개값에 대한 정의에 대해서도 잘모르겠고, 어떻게 조정을 하여

맞추는지 매우 궁금합니다. 결과적으로는 Plasma가 잘 발생하게 하기 위한 방법이겠지만

이해하기 쉽게 설명하여 주시면 매우 감사하겠습니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102008
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24521
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61171
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73210
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105408
233 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [Sheath model과 bias] [3] 24910
232 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23470
231 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 23075
230 대기압 플라즈마 40928
229 반도체 관련 질문입니다. 28659
» 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [Matching과 L-type] [1] 48861
227 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20532
226 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [수중방전의 heating source] [1] 16360
225 H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 19728
224 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. file 30545
223 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. 17291
222 ECR plasma 장비관련 질문입니다. [ECR과 enhanced process] [2] 35287
221 질문 있습니다. [Plasma breakdwon과 plasma particle] [1] 18528
220 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련 [Pulse plasma와 trigger-in] [1] 22896
219 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25704
218 플라즈마 진단법에 대하여 [플라즈마 진단과 Spectroscopy] [1] 20973
217 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [Enthalpy probe] [1] 20480
216 UBM 스퍼터링 장비로… [UBM과 열팽창 및 coating] [1] 21177
215 Reflrectance power가 너무 큽니다. [RF matching과 breakdown] [1] 25292
214 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24984
쓰기
태그

Boards

XE Login