Matcher 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다.
2011.01.03 12:29
이제 막 Plasma라는 것에 발을 딛은 초보직장인인데요.
Mather장비는 A사 제품을 쓰고 있는데 항상 Matching test를 할때마다
tune과 load값이라는 것을 조정하여 맞추더군요.
솔직히 이 두개값에 대한 정의에 대해서도 잘모르겠고, 어떻게 조정을 하여
맞추는지 매우 궁금합니다. 결과적으로는 Plasma가 잘 발생하게 하기 위한 방법이겠지만
이해하기 쉽게 설명하여 주시면 매우 감사하겠습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [294] | 77392 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20529 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57466 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68992 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93019 |
13 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 93 |
12 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 86 |
11 | 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] | 77 |
10 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 71 |
9 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 71 |
8 | 플라즈마 사이즈 측정 방법 [1] | 70 |
7 | Druyvesteyn Distribution | 63 |
6 | Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [1] | 59 |
5 | micro arc에 대해 질문드립니다. [1] | 52 |
4 | Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [1] | 47 |
3 | 플라즈마 장비 내부 온도 측정법 [1] | 46 |
2 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 46 |
1 | Debey Length에 대해 문의 드립니다. [1] | 21 |