안녕하세요 김곤호 교수님.

저는 코로나 방전 공부를 하고 있는 대학원생입니다.

다름이 아니라 재질에 대해 질문 드리고 싶은데요,

저는 재질을 스테인리스, 황동, 텅스텐 3종류를 바꿔가면서 방전 실험을 했습니다.

제가 비슷한 글을 찾아본 결과 음극판의 2차 전자방출계수가 높은것 일수록 플라즈마 공간 유지에 좋다고 봤습니다.

그렇다면 재질이 바뀌면 전류-전압 그래프가 서로 다르게 나와야 되는게 아닌가 싶습니다.

하지만 재질을 바꿨을 경우 전류-전압은 그대로인데 풍속만 차이가 있었습니다. 여기서 풍속은 이온풍입니다.

즉 2차 전자방출계수 말고도 다른 요소에 의해서 전류-전압 그래프는 서로 같지만 풍속이 다르게 나오는 것 같습니다.

혹시 제가 모르는 다른 요소가 있거나 제가 잘못생각한 점이 있다면 설명해주시면 감사하겠습니다.

그리고 혹시 괜찮으시다면 양극판에서는 어떤 물성치가 플라즈마 공간에 영향을 주는지 추가적으로 알고 싶습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77215
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20468
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57362
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68901
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92947
466 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1780
465 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1791
464 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1816
463 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1835
462 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [1] 1837
461 ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화 [1] 1875
460 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1877
459 가입인사드립니다. [1] 1881
458 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1883
457 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1916
456 RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] 1919
455 3 stub 정합에 대해 궁금합니다. [1] 1927
454 플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서) [1] 1927
453 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1930
452 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1933
451 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 1955
450 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1957
449 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1967
448 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1974
447 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1983

Boards


XE Login