Others 플라즈마 내에서의 현상

2016.06.08 00:50

김준민 조회 수:1394

플라즈마 안에서는 원자들끼리 (비)탄성충돌이 발생하거나 그로 인해서 재결합이나 전하 이동, 여기, 이온화, 이완, 분리 같은 현상들이 발생하는 것으로 아는데 이런 현상들이 플라즈마의 유동에도 영향을 미치는지 궁금합니다. 그리고 플라즈마 난류 시뮬레이션에 이런 현상들이 반영되는지도 궁금합니다. 특수한 상황에서는 고전적인 MHD로 플라즈마 유동을 설명할 수 없다고 하던데 그런 것들이 플라즈마 내에서 발생하는 현상들과 관련이 있는 것인지 궁금하여 질문 드립니다. 답변 부탁드리겠습니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77073
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20387
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57296
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68843
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92848
321 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1569
320 plasma 형성 관계 [1] 1562
319 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1543
318 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1542
317 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1540
316 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1532
315 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1524
314 N2 / N2O Gas 사용시 Plamsa 차이점 [1] 1496
313 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [1] 1490
312 charge effect에 대해 [2] 1488
311 ICP lower power 와 RF bias [1] 1486
310 Ashing 공정에 필요한 O2 plasma에 대해 궁금한 점이 있습니다. [1] 1481
309 RF 케이블 발열 현상관련 문의 드립니다. 1474
308 알고싶습니다 [1] 1474
307 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1474
306 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1470
305 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1470
304 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1461
303 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1458
302 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1453

Boards


XE Login