Others 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다.

2016.09.25 22:42

박영수 조회 수:6073

슬라이드2.JPG
슬라이드3.JPG


슬라이드4.JPG


슬라이드5.JPG


슬라이드6.JPG


안녕하세요.

코로나방전, 이온풍에 굉장히 관심이 많은 학생입니다.

물어볼곳이 없어 많이 힘드네요 ㅠㅠ

제가 공부한 내용들을 파워포인트로 정리 해봤는데요

혹시 내용이 맞는지 어디가 잘못되었는지 궁금합니다.

조언 부탁드립니다.

감사합니다~!

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77123
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20417
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57328
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68866
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92887
481 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [2] 6303
480 자료 요청드립니다. [1] 6211
479 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 6111
» 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 6073
477 SiO2를 Etching 할 시 NF3 단독 보다 O2를 1:1로 섞을시 Etching이 잘되는 이유 [1] file 5980
476 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 5947
475 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5944
474 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5853
473 RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] 5706
472 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 5616
471 DRAM과 NAND에칭 공정의 차이 [1] 5500
470 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] 5422
469 CCP 설비에서 Vdc, Vpp과 Power에 대해 문의드립니다. [1] file 5233
468 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 5208
467 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 5118
466 Sheath 길이와 전자의 온도 및 MFP간의 관계에 대해 질문 드립니다. [1] 4863
465 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [3] 4572
464 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 4377
463 플라즈마 색 관찰 [1] 4337
462 Dry Etching Uniformity 개선 방법 [2] 4325
쓰기
태그

Boards

XE Login