Matcher Impedence 위상관련 문의..
2017.06.30 04:39
안녕하세요. 전에도 몇번 질문드렸었습니다만,, 반도체 관련회사에서 근무하고 있습니다.
RF (ICP)장비를 다루고 있는데 impedence 위상관련해서 문의 좀 드리려고 합니다.
impedence 매칭은 저항과 위상으로 조정하데..
공정 parameter (Ar pressure , AC power 등)의 변화로 위상이 변화할수 있을까요?
변화된다면 어떤 이유로 변화되는지 조금 자세하게 설명을 듣고 싶습니다..
그리고 정말 죄송한데 smith chart program 을 사용하고 싶은데..도움 받을 site가 있을까요?
검색해서 찾아봐도 알수 없는 site로 이동이 되서...찾기가 어렵습니다만..
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76889 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20286 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57204 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68758 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92716 |
359 | DC bias (Self bias) [3] | 11309 |
358 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12538 |
357 | 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] | 791 |
356 | RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다. [1] | 1883 |
355 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9533 |
354 | 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] | 2661 |
353 | ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] | 1992 |
» | Impedence 위상관련 문의.. [1] | 1468 |
351 | 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] | 576 |
350 | RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] | 2670 |
349 | RF frequency와 RF power 구분 | 39089 |
348 | RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 | 2287 |
347 | PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] | 2793 |
346 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 686 |
345 | Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] | 3552 |
344 | O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] | 6442 |
343 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8623 |
342 | 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] | 1910 |
341 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 439 |
340 | 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] | 931 |