Plasma Source Plasma Generator 관련해서요.

2018.10.24 11:25

Elin0503 조회 수:913

안녕하세요.  

플라즈마 관련 직종에서 근무하고 있는 초보 직장인입니다.


한가지 질문 드릴게 있어서요,

Generator 하나를 사용하는데 Cable을 분기 시켜서

두개의 matching box로 가게 가능 할까요?


즉 Generator 하나를 사용하여 각각 다른 위치에 존재하는 Part를 클리닝 하고 싶어서요.

이게 실제 이론적으로 회로상으로 Relay를 줘서 분기 시켜서 

어쩔때는 Mater1으로 가고, 어쩔때는 Matcher2로 가는게 가능할까요?


관련 내용을 찾다가 갑자기 궁금해서 질문 드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77153
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20433
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57338
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68884
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92906
442 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 2006
441 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] 2013
440 chamber impedance [1] 2023
439 CVD (CCP) 공정의 Chamber seasoning과 플라즈마 밀도 [1] 2029
438 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 2032
437 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] 2041
436 RPG Cleaning에 관한 질문입니다. [2] 2044
435 doping type에 따른 ER 차이 [1] 2084
434 LF Power에의한 Ion Bombardment [2] 2121
433 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 2134
432 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 2135
431 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 2147
430 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2160
429 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2162
428 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2183
427 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2256
426 Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요? [1] 2257
425 플라즈마볼 제작시 [1] file 2264
424 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2279
423 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2292

Boards


XE Login