Chamber component CCP 챔버 접지 질문드립니다.
2018.12.10 23:22
안녕하세요, KAIST 핵융합 및 플라즈마 연구실 소속 석사과정 권대호입니다.
다름이 아니라, 저희 연구실에서 사용하는 CCP 장비에서 접지 관련으로 보이는 문제가 발견되어 질문 드립니다.
첨부한 사진과 같이 구성되어 있는 CCP 챔버에서, 상부전극에는 13.56MHz RF Power 를 인가하고, 하부전극은 수도관에 접지해두었습니다. 또한, 챔버역시 동일한 수도관에 연결하여 접지하여 연결하였습니다. (접지 연결은 동축케이블을 사용하였습니다.)
이후 RF Power 를 인가한 뒤 하부 전극의 전압을 오실로스코프로 측정할 때, 해당 전극을 접지하였음에도 불구하고 13.56MHz 신호가 관측이 되었습니다. 수도관 자체 및 챔버에서 또한 13.56MHz 신호가 관측되었습니다.
처음에는 RF Power 가 제대로 차페되지 않아 생기는 문제로 추측하여 RF Power 또한 수도관에 접지하였으나 동일한 현상이 발생하였습니다. 또한, RF Power를 챔버에 연결하지 않았을 때는 RF Power 를 인가하는 경우에도 수도관 접지에서 신호가 발생하지 않았습니다.
RF Power 인가 후 관측된 13.56MHz 신호의 평균값은 항상 0V로 관측되었습니다. 또한 RF Power 의 크기를 늘릴 때마다 신호의 Vpp 값이 증가하는 것을 관측하였습니다. (RF Power 자체의 Vpp값은 측정장비가 없어 알 수 없는 상황입니다.)
위와 같은 관측을 했음에도 불구하고, CCP 장비 및 전기 장비에 대한 이해도 부족으로 적절하게 접지가 이뤄져 있는 지 조차 판단이 어렵습니다.
이에, 다음 두가지 사항을 질문드립니다.
1. 일반적으로 CCP를 접지하는 방법 혹은 PAL 에서 CCP를 접지하고 있는 방법
2. 위와 같은 구성에서 접지가 적절하게 이뤄져 있는지를 체크할 수 있는 방법
부디 조언 부탁드립니다. 감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] | 77203 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20463 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57360 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68899 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92945 |
546 | 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. | 13212 |
545 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13081 |
544 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12817 |
543 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12787 |
542 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12581 |
541 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12371 |
540 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11662 |
539 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11569 |
538 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11509 |
537 | DC bias (Self bias) [3] | 11347 |
536 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 10568 |
535 | RGA에 대해서 | 10557 |
534 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10401 |
533 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10397 |
532 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10337 |
531 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 10048 |
530 | ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] | 9910 |
529 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9846 |
528 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9685 |
527 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9649 |