Others 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상
2019.01.24 13:33
안녕하십니까.
산소양이온이 금속전극을 충돌하면, 산소양이온은 무엇으로 변하는지 궁금합니다.
1) 금속표면바로아래의 전자가 터널링에 의하여 나와서 산소양이온과 결합 하여 산소분자로 환원이 되는지?
- 산소분자로 환원이 된다면, metastable 상태를 거쳐서 산소분자가 되는지..
2) 전자과 결합하는 과정에서 산소원자들이 생성이 되는지?
자료를 찾을 수가 없어서 문의드립니다.
오늘도 좋은 하루 되세요. 감사합니다.
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] | 77151 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20432 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57337 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68884 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92905 |
| 802 | ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [1] | 25 |
| 801 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 29 |
| 800 | Druyvesteyn Distribution | 34 |
| 799 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 47 |
| 798 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 49 |
| 797 | 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] | 49 |
| 796 | PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. | 50 |
| 795 | 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] | 60 |
| 794 | HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] | 62 |
| 793 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 69 |
| 792 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 78 |
| 791 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 78 |
| 790 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 88 |
| 789 | Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. | 96 |
| 788 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 99 |
| 787 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 100 |
| 786 | Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] | 107 |
| 785 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 109 |
| 784 | 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] | 120 |
| 783 | 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] | 121 |