Deposition 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다.
2019.05.22 16:11
안녕하세요. 반도체 회사에 근무중인 회사원 입니다.
다름이 아니고 PECVD로 박막 증착 시 Radical들의 움직임에 관해 궁금한 점이 있어서 글을 올립니다.
Radical이 Wafer위에서 migration후 반응하여 island를 만들고 그 섬들이 성장하여 박막을 형성하는 것으로 알고 있는데
Radical이 가지는 에너지, 기판의 온도, 기판을 이루는 물질과의 결합에너지 등을 통해 Radical이 기판위에서
평균적으로 얼마나 움직이는지, 어느 위치를 안정적인 site로 인식하고 반응하는지 등을 알 수 있을까요?
댓글 2
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77121 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20415 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57327 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68865 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92886 |
| 661 | N2 GAS를 이용한 Plasma에 대한 질문 [1] | 643 |
| 660 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 646 |
| 659 | remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] | 660 |
| 658 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 664 |
| 657 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 667 |
| 656 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 672 |
| 655 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 681 |
| 654 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 682 |
| 653 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 693 |
| 652 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 693 |
| 651 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 696 |
| 650 | Polymer Temp Etch [1] | 698 |
| 649 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 708 |
| 648 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 710 |
| 647 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 713 |
| 646 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 720 |
| 645 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 724 |
| 644 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 733 |
| » | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 736 |
| 642 | ICP 후 변색 질문 | 739 |