Deposition 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다.
2019.05.22 16:11
안녕하세요. 반도체 회사에 근무중인 회사원 입니다.
다름이 아니고 PECVD로 박막 증착 시 Radical들의 움직임에 관해 궁금한 점이 있어서 글을 올립니다.
Radical이 Wafer위에서 migration후 반응하여 island를 만들고 그 섬들이 성장하여 박막을 형성하는 것으로 알고 있는데
Radical이 가지는 에너지, 기판의 온도, 기판을 이루는 물질과의 결합에너지 등을 통해 Radical이 기판위에서
평균적으로 얼마나 움직이는지, 어느 위치를 안정적인 site로 인식하고 반응하는지 등을 알 수 있을까요?
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [293] | 77379 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20518 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57452 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68984 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93008 |
653 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19204 |
652 | 기중방전에서 궁금한것이 | 19173 |
651 | AMS진단에 대하여 궁금합니다 | 19057 |
650 | 플라즈마에 관하여... | 18972 |
649 | RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] | 18883 |
648 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18826 |
647 | 플라즈마의 환경이용 | 18775 |
646 | 등온플라즈마와 비등온플라즈마 | 18770 |
645 | 플라즈마진단법엔 어떤것이? | 18750 |
644 | 주변의 플라즈마에 대하여 | 18664 |
643 | 핵융합 발전에서는 폐기물이 않나오는 .... | 18577 |
642 | surface wave plasma 에 대해서 [1] | 18569 |
641 | 플라즈마을 막는 옷의 소재는? | 18562 |
640 | 최적의 펌프는? | 18555 |
639 | 형광등에서 일어나는 물리적인 현상 | 18541 |
638 | RF compensate probe | 18464 |
637 | 물리적인 sputterting | 18392 |
636 | Faraday shielding & Screening effect | 18375 |
635 | 질문 있습니다. [1] | 18373 |
634 | 실생활에서 사용되는 플라즈마 | 18326 |