Skip to content
플홈
오시는 길
누구
질문방
검색
전체
Plasma in general
DC glow discharge
Collision
Sheath
Ion/Electron Temperature
Others
Plasma Source
ATM Plasma
CCP
ICP
Remote Plasma
Water Discharge Plasma
Others
Chamber component
Matcher
ESC
Pulse operation
Shower head
Chamber Impedance
Others
Monitoring Method
OES
Langmuir Probe
VI(Impedance) Sensor
B dot
Others
Process
Etch
Deposition
Sputtering
Ashing
Others
Etch
Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate
2020.07.09 13:00
도리
조회 수:2344
안녕하세요 교수님
Etch시 센터와 사이드 etch rate이 다를 경우 어떤 공정 파라미터를 조절해야 하나요?
댓글
1
목록
번호
제목
조회 수
공지
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[286]
77294
공지
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
20490
공지
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
57409
공지
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
68939
공지
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
92987
430
플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다.
[1]
2178
429
Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법
[1]
2178
428
양극 코로나 방전에 대한 질문입니다.
[1]
2190
427
부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리
[1]
2264
426
플라즈마볼 제작시
[1]
2273
425
Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요?
[1]
2278
424
RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문
2298
423
ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다.
[1]
2302
422
etching에 관한 질문입니다.
[1]
2309
421
N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다.
[1]
2344
»
Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate
[1]
2344
419
CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계
[1]
2345
418
Wafer particle 성분 분석
[1]
2353
417
sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지
[1]
2360
416
플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는?
2362
415
Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련.
[1]
2363
414
Ta deposition시 DC Source Sputtreing
2365
413
교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다.
[2]
2375
412
PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성....
[1]
2381
411
플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다.
[1]
2390
Boards
Close Login Layer
XE Login
아이디
비밀번호
로그인 유지
회원가입
ID/PW 찾기
인증메일 재발송
Close Login Layer