Ion/Electron Temperature 전자 온도에 대한 질문이 있습니다.

2021.08.12 16:29

박준우 조회 수:1020

안녕하세요. 경희대학교에서 플라즈마에 대한 학부연구를 진행하고 있는 박준우라고 합니다.

플라즈마의 전자 온도에 대한 간단한 질문이 있어 QNA 드립니다.

 

플라즈마 내의 전자가 물질(substrate)과 충돌했을 때, 맞은 substrate의 전자도 온도가 올라가는 것으로 알고 있습니다.

이 때 일반적으로 진공에 떠돌아 다니는 전자의 온도와, substrate의 전자 온도의 정의를 똑같이 할 수가 없다고 하는데, 정확히 어떻게 정의가 달라지는지 궁금하여 질문 드립니다.

 

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 76997
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20341
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57264
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68808
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92807
601 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 901
600 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 902
599 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 905
598 Plasma Generator 관련해서요. [1] 913
597 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 932
596 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 937
595 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 944
594 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 962
593 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 969
592 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 971
591 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 974
590 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 978
589 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 980
588 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 981
587 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 999
586 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 1000
585 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1007
584 anode sheath 질문드립니다. [1] 1009
583 고진공 만드는방법. [1] 1016
» 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1020
쓰기
태그

Boards

XE Login