Etch Plasma 식각 test 관련 문의

2021.12.13 16:57

벅바 조회 수:3981

안녕하세요.

 

플라즈마 식각 중량변화 테스트를 O2가스와 NF3,AR(3:1) 비중으로 60분동안 200W전력 조건으로 

 

제품은 불소고무 O-RING 입니다.

 

할 수 있는곳이 있을까요?? 

 

도움 부탁드리겠습니다..

 

, , , , 이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77164
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20445
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57345
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68885
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92919
442 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3565
441 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3530
440 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3483
439 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3467
438 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3458
437 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3450
436 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3419
435 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3373
434 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3343
433 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3341
432 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3301
431 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3267
430 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3234
429 CVD 공정에서의 self bias [1] 3195
428 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3188
427 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3167
426 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3067
425 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 3045
424 Plasma etcher particle 원인 [1] 3043
423 RF matcher와 particle 관계 [2] 3019
쓰기
태그

Boards

XE Login