Matcher RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [Ground와 Clamp]

2022.04.19 11:40

맨시티챔스우승 조회 수:1112

안녕하세요

측정장비 분야에서 일하고 있는 연구 엔지니어입니다.

 

ICP(13.56MHz) 이용해 플라즈마 띄우고 Standard L-type Matching Network 사용중입니다.

Matcher에 대해 어느정도 이론은 이해했다고 생각했는데 현실은 다르네요.

 

안테나와 Matcher 間 거리, 안테나의 길이, Clamp로 엮는 위치 등등 모든게 변수가 되는 것 같습니다...

이러한 이유로 Plasma를 띄운 후 Current 값이 계속해서 안정적이지 못하고 뛰는 것 같은데 혹시 이러한 값들도 영향을 미치나요?

 

혹시 최선의 값을 알고 계신다면 알려주시면 진심으로 감사하겠습니다.

바쁘신 연구 와중에도 항상 저희에게 도움을 주셔서 감사합니다.

 

, , 이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79688
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21372
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58159
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69742
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94673
684 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 918
683 sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias] [1] 1145
682 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 741
681 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 718
680 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [PECVD와 PACVD] [1] 2160
679 plasma striation 관련 문의 [Plasma striation] [1] file 573
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 620
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 741
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 701
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1364
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas] [1] 1454
673 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1193
672 Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지] [1] 829
671 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1147
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 613
669 플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료] [1] 1579
668 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1554
667 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 529
666 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술] [1] 872
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1002
쓰기
태그

Boards

XE Login