Plasma Source 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성
2023.03.07 09:48
기초적인 질문이지만 답변 해주시면 정말 감사하겠습니다.
1. 챔버 시즈닝을 SiO2로 했을때, 플라즈마를 인가하면 플라즈마의 영향으로 챔버시즈닝이 각 O2-와 Si4+로 분해가 일어날수있나요?
일어난다면 흔한일일까요 ??
2. 1번과 같은 관점에서 플라즈마 gas를 각각 N2 , H2 로 인가한다면, 제가 생각하기에는 수소원자가 질량이 낮으니 O를 떼어 낼 만한 힘이 없어서 N2 는 1과같은 일이 발생할수 있을거 같고, H2는 힘들것 같은데 어떤것이 맞는지 궁금합니다
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77014 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20347 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57269 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68814 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92813 |
161 | 기중방전에서 궁금한것이 | 19164 |
160 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19195 |
159 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19224 |
158 | MFC | 19335 |
157 | [Q]플라즈마 생성위한 자유전자라는게 뭐죠? | 19336 |
156 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19354 |
155 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19362 |
154 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19399 |
153 | QMA에 관하여 [1] | 19433 |
152 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19441 |
151 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19461 |
150 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19494 |
149 | self bias [1] | 19497 |
148 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19569 |
147 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19642 |
146 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19662 |
145 | DC SPT 문의 | 19683 |
144 | Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. | 19694 |
143 | DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 | 19716 |
142 | cross section 질문 [1] | 19724 |