Plasma in general plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다
2023.07.27 18:30
안녕하세요~
반도체 관련 회사에 종사중으로 항상 이곳에서 많은 도움을 받다가 정말 궁금한게 있어 글 남깁니다
제가 알기로는 플라즈마 오프 시, 쉬스 내에 트랩되어있던 파티클들이 중력에 의해 챔버 바닥 혹은 히터/ESC 위에 있는 웨이퍼로 떨어지는 것으로 압니다
이때 1초만에 0으로 뚝 끄던걸 1-2초 혹은 더 이상으로 나눠서 꺼주면 , 즉 ramping 으로 off 하게 되면 (예를 들어 1000-400-0 이런식으로 몇초에 걸쳐 끔)
플라즈마가 약해질수록 엣지쪽 시스가 두꺼워지면서 플라즈마가 완전히 꺼질 시 플라즈마 내 있던 파티클들이 웨이퍼 옆으로 떨어져서 챔버 하부로 빠져나가는 개념으로 알고있는데 제가 알고있는게 맞을지? 아니라면 플라즈마를 나눠서 끌때 파티큹 측면에서 좋은점이 뭘지? 아니면 이론상 파티클과 상관없을지 의견주시면 감사하겠습니다!!
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [281] | 77183 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20454 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57352 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68894 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92930 |
800 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 145483 |
799 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134461 |
798 | RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 | 95833 |
797 | Plasma source type | 79724 |
796 | Silent Discharge | 64562 |
795 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 54996 |
794 | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] | 47966 |
793 | 플라즈마내에서의 아킹 | 43715 |
792 | 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. | 41290 |
791 | 대기압 플라즈마 | 40722 |
790 | Ground에 대하여 | 39512 |
789 | RF frequency와 RF power 구분 | 39112 |
788 | Self Bias | 36402 |
787 | Ar plasma와 O2 plasma 차이??(Matching Network) | 35984 |
786 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] | 34969 |
785 | PEALD관련 질문 [1] | 32656 |