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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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Edge ring의 역할 및 원리 질문
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740 |
PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다.
[1] | 354 |
739 |
plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다
[1] | 369 |
738 |
반사파와 유,무효전력 관련 질문
[2] | 370 |
737 |
RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메카니즘에 대해 질문하고싶습니다.
[1] | 374 |
736 |
텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량
[1] | 376 |
735 |
chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의
[1] | 376 |
734 |
입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate
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733 |
ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유
[1] | 379 |
732 |
plasma modeling 관련 질문
[1] | 390 |
731 |
염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다.
[1] | 394 |
730 |
타겟 임피던스 값과 균일도 문제
[1] | 405 |
729 |
애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다.
[1] | 411 |
728 |
PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다.
[1] | 414 |
727 |
CURRENT PATH로 인한 아킹
[1] | 414 |
726 |
standing wave effect, skin effect 원리
[1] | 418 |
725 |
center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2
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724 |
PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요
[1] | 427 |
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VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다.
[1] | 429 |
722 |
플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거
[1] | 429 |