저는 지금 플라즈마 진단을 위하여 QMA를 사용하고 있습니다.
RGA mode와 Ion mode가 있는데.. 차이점을 알고 싶습니다.
제가 사용하는 system은 electron beam의 에너지를 control이 가능한데..
1. RGA mode에서 electron beam의 에너지를 0eV로 한 경우와
Ion mode의 차이점을 알고 싶습니다.
2. Plasma를 여기시킨 상태에서 RGA mode를 사용하는 경우(위의
질문과 연관이 되는 것 같은데.. )
QMA의 gas input단에서 이온을 QMA내로 들어오지 못하게 하는
기능이 있는지 알고 싶습니다. ^^
수고하싶시오.. ^^
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 76976 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20331 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57251 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68800 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92794 |
| 661 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 637 |
| 660 | remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] | 642 |
| 659 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 645 |
| 658 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 647 |
| 657 | plasma 공정 중 색변화 [1] | 655 |
| 656 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 661 |
| 655 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 673 |
| 654 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 678 |
| 653 | Polymer Temp Etch [1] | 683 |
| 652 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 690 |
| 651 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 693 |
| 650 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 695 |
| 649 | 플라즈마 진단 공부중 질문 [1] | 704 |
| 648 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 710 |
| 647 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 710 |
| 646 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 718 |
| 645 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 723 |
| 644 | 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] | 726 |
| 643 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 728 |
| 642 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 731 |