Others RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동

2009.08.05 12:52

조정안 조회 수:24787 추천:241

수고가 많으십니다.
저희 회사는 반도체, LCD장비 제작 회사들로 Motion Controller와 Servo ,Step Motor등을 공급하는 회사입니다.
업체 상담중에 문의사항이 있어서 조언을 구하고자 질문을 올려 드립니다.
Sputter 장비의 vacuum정도는 10 -3 torr, 공정온도는 약 100 도 정도입니다. Chamber내부에서 Motion을 구현 하고자 합니다. Chamber내부에 Vacuum용 모터를 사용하고자는데  RF 플라즈마에 의한 노이즈로 Motor 사용에 대한 부분을 우려하고 있습니다. 일반적으로 Chamber 외부로 Motion부분을 빼내어 메탈 벨로우즈를 이용한 방법으로 Motion을 사용한다고 하는데, Vacuum용 Motor를 RF 플라즈마 챔버내에서 사용하는 것이 가능한지 가능하다면 어떤 방법이 있는지 답변 부탁드립니다.
그럼 수고하십시요.

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77208
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20465
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57361
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68900
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92946
206 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 911
205 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 908
204 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 900
203 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 886
202 RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때 [1] 886
201 문의 드립니다. [1] 882
200 Self bias 내용 질문입니다. [1] 881
199 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 866
198 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 863
197 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 861
196 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 858
195 ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] 856
194 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 851
193 PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] 849
192 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 846
191 RF 파워서플라이 매칭 문제 843
190 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 834
189 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 832
188 ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] 828
187 라디컬의 재결합 방지 [1] 822
쓰기
태그

Boards

XE Login